碳/碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究

• 作者: 刘锋 王世援 韩焕鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 碳/碳复合材料 直拉单晶炉 热系统保温装置
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺
• 页码范围: 29-33
• 分类号: TN304.053
• 字数: 3575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.04.007

摘要

介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异.通过在单晶炉上的实验应用,证明了碳/碳复合材料比石墨材料具有更好的实际应用效果,在直拉硅单晶领域具有很好的应用潜力.分析了碳/碳复合材料的一些不足,并提出了相应的解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩焕鹏	中国电子科技集团公司第四十六研究所	28	43	4.0	5.0
2	刘锋	中国电子科技集团公司第四十六研究所	15	20	3.0	3.0
3	王世援	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	9	2.0	3.0