应用白光共焦光谱测量金属薄膜厚度

• 作者: 叶成钢 唐永建 杨蒙生 赵学森 马小军 高党忠
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 白光共焦光谱 金属薄膜 膜厚测量 惯性约束聚变
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 17-22
• 分类号: O484.5|TH744.1
• 字数: 2499字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111901.0017

摘要

为了精确测量自支撑金属薄膜厚度及其厚度分布,提出了基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术.介绍了该技术的测量原理及系统结构,研究了系统的测量不确定度.利用相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台并结合自制的薄膜厚度校准样品,实现了对厚度为10～100 μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量;通过研究系统的传感器测量不确定度、薄膜厚度校准样品不确定度、上下传感器安装误差及系统重复性测量误差,获得了系统的测量不确定度数据.试验结果表明,该系统的测量不确定度在0.12 μm左右,基本满足惯性约束聚变(ICF)靶参数测量所需的稳定性好、测量精度高、非破坏性测量等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	马小军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	36	107	5.0	8.0
3	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	290	11.0	15.0
4	杨蒙生	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	53	3.0	7.0
5	赵学森	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	42	3.0	6.0
6	叶成钢	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	9	102	5.0	9.0