基于FP0-C14PLC的自动阻抗匹配器的研制

• 作者: 夏洋 王登伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 射频电源 自动阻抗匹配器 PLC 特征阻抗 数字电位器
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 光刻与刻蚀
• 页码范围: 1-4,52
• 分类号: TP23
• 字数: 2386字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.001

摘要

为了使随工艺条件变化的动态阻容等效负载自动变换成传输线的特征阻抗50,实现射频电源的最大功率传输,提出了一种PLC控制的自动阻抗匹配器设计方案,采用鉴相鉴幅方法,构建闭环控制系统,实现对动态变化阻抗的实时跟踪.匹配良好时,反射系数可以控制在0.2％以内,具备匹配范围大、可靠性高、抗干扰能力强等特点.最后通过计算机仿真和现场实验验证了该设计方法的有效性和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏洋	中国科学院微电子研究所	67	325	9.0	14.0
5	王登伟	中国科学院微电子研究所	3	3	1.0	1.0