衍射方法监控键合线断裂

• 作者: 肖勇 葛晓宇 逄玉俊 高淑芝
• 来源期刊: 无损检测
• 学科: 工学
• 关键词: 键合线 衍射条纹 光强 光电阵列
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 86-89
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.28|TN219
• 语种: 中文

摘要

在制造行业中，键合线广泛用于连接半导体芯片焊点和封装接线端。随着工厂自动化程度的不断提高，急需配置智能传感器来监控键合线的断丝故障，可是芯片和键合线的发展趋势是越来越精细，这给当前的键合线监控方法带来了严峻的挑战。提出了基于单缝衍射的精细键合线监控方法，通过观测特定衍射条纹的光强变化来判断键合线的存在与否。试验结果表明，对于直径为25μm或更精细的键合线，此方法可以达到理想的监控效果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	逄玉俊		24	103	6.0	8.0
2	高淑芝		28	64	5.0	6.0
3	葛晓宇		11	18	3.0	3.0
4	肖勇		15	32	4.0	5.0