单晶MgO抛光基片表面吸湿潮解变化研究

• 作者: 李荣珍
• 来源期刊: 机电产品开发与创新
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶MgO 抛光基片 吸湿潮解
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 综合研究
• 页码范围: 201-202,168
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6673.2011.01.079

摘要

将制备好的单晶氧化镁(MgO)抛光基片分别置于空气、干燥箱和真空环境中,采用光学显微镜、3D表面轮廓仪及X射线光电子能谱仪研究基片表面的吸湿潮解变化.通过研究发现,单晶氧化镁(MgO)抛光基片的吸湿潮解行为会严重破坏晶体结构,影响表面质量.在不同的环境下,吸湿潮解行为对表面的破坏程度是不一样的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李荣珍		9	26	4.0	4.0