静电驱动连续面形微机电系统变形镜的制作

• 作者: 汪为民 胡放荣 马文英
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 微机电系统 变形镜 静电驱动 表面微加工 光束整形
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 242-246
• 页数: 5页
• 分类号: TN241
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1016001

摘要

基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用ZygoNewView7300白光干涉仪对样片的静态特性和动态响应特性进行了测试.静态测试结果表明,器件在150 V电压下的最大形变量为0.667 μm,相邻单元之间的交联值为9％,镜面位置重复性为10％.动态测试结果表明,器件对正弦驱动信号的响应时间小于30μs,响应曲线近似为一条余弦曲线,谐振频率为36 kHz.该变形镜可用于自由空间光通信、激光光束整形、波前畸变校正、投影显示、生物医学成像和人眼视差校正等重要领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡放荣		28	223	10.0	14.0
2	汪为民	中国科学院光电技术研究所	16	32	3.0	4.0
3	马文英		28	43	4.0	5.0