薄膜提拉装置研制

• 作者: 吕刚 唐一文 陈正华
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜制备 提拉装置 液压传动
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与应用
• 页码范围: 63-66
• 分类号: TB383-33
• 字数: 4235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-4956.2011.04.020

摘要

设计并开发了一种薄膜提拉装置.该装置由液压装置、提拉装置、控制装置3个独立分体装置组成.为了实现薄膜制备过程中无振动、匀速提拉运行的"理想"成膜条件,选用液压传动系统以液体静压力进行动力传递和控制,并采用了与振动源保持柔性连接的隔离技术.该装置具有振动极小、低速稳定、匀速运行等优点,制得的薄膜表面平整、厚度均匀.为薄膜制备领域的教学科研和应用技术研究,提供了一种高品质的薄膜制备设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈正华	华中师范大学物理科学与技术学院	9	190	6.0	9.0
2	吕刚	华中师范大学实验室与设备管理处	2	0	0.0	0.0
3	唐一文	华中师范大学物理科学与技术学院	22	257	8.0	16.0