浅谈12英寸集成电路芯片制造用水清洁生产指标的确定

• 作者: 肖劲戈
• 来源期刊: 中国西部科技
• 学科: 经济
• 关键词: 集成电路 芯片 清洁生产 节水
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 论著
• 页码范围: 1-4
• 分类号: F426.6
• 字数: 6649字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6396.2011.10.001

摘要

对于代表目前集成电路制造最高水平的12英寸生产线,其清洁生产指标的确定往往由于所处行业的高速发展,目前尚处于一个积累经验和探索发展的阶段而成为一个难点.本文拟在笔者对该类项目设计和环评实际工作的基础上,以一个在建的典型的12英寸生产线为案例,通过制作全厂水量平衡图,分析其用水特点与节水措施,就如何确定清洁生产指标进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖劲戈		1	0	0.0	0.0