基于MEMS的微传感技术

• 作者: 胡学斌
• 来源期刊: 大科技·科技天地
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微传感器
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 技术与理论
• 页码范围: 172-173
• 分类号: TP212
• 字数: 3102字
• 语种: 中文

摘要

微电子机械系统(Micro Electro Mechanical systems,简称MEMS)技术是建立在微米纳米技术基础上的21世纪前沿技术.它用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统.本文首先介绍MEMS工艺与传统机械加工工艺的区别,阐明只有MEMS工艺才能满足制作微传感器的要求,而传统机械加工已无能为力;其次介绍目前比较成熟的和发展中的MEMS工艺;最后介绍基于MEMS技术的成熟微传感器的原理和应用情况.基于MEMS的微传感器具有十分广阔的应用前景,应该引起科研结构相关政府部门的足够重视.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡学斌		1	0	0.0	0.0