基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计

• 作者: 张子立 朱斌 殷晨波 陶春旻
• 来源期刊: 南京工业大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微气体传感器 结构优化 热性能 制造工艺
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 31-35
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7627.2012.03.006

摘要

针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点,设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传感器,利用有限元软件ANSYS对传感器的热性能进行了分析.结果表明:共面式微传感器的气敏薄膜表面工作区域的温度差在功耗为15mW时约为7℃,且当功耗为13 mW时传感器温度便可达300℃.根据MEMS工艺设计了一套制造该结构传感器的工艺.该工艺可以与溶胶-凝胶法制膜工艺相兼容,且整个工艺只用到3块掩膜版,从而降低了工艺复杂程度,提高了产品成品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷晨波	南京工业大学机械与动力工程学院	208	1210	16.0	23.0
2	朱斌	南京工业大学机械与动力工程学院	25	171	8.0	11.0
3	张子立	南京工业大学机械与动力工程学院	15	85	5.0	8.0
4	陶春旻	南京工业大学机械与动力工程学院	6	22	3.0	4.0