半导体材料放电切割弯丝过冲控制研究

• 作者: 刘志东 田宗军 邱明波 韦国强
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 电火花线切割加工 弯丝过冲 位置检测
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 9-12,16
• 分类号: TG661
• 字数: 3542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2012.02.003

摘要

提出了一种基于电极丝位置检测的高阻半导体放电切割弯丝过冲控制方法.在对高阻半导体放电切割加工特性分析研究的基础上,分析了传统电火花线切割放电间隙取样方法对高阻半导体加工进给控制存在的问题,提出以测量加工过程中电极丝空间位置变化为基础的弯丝过冲检测方法,并设计了相应的检测系统.采用该系统对高阻半导体单晶硅进行了放电切割加工,试验表明:该检测系统能有效控制放电过程中出现的弯丝过冲现象,提高了切割效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军	南京航空航天大学机电学院	220	2027	21.0	32.0
2	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
3	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0
4	韦国强	南京航空航天大学机电学院	1	6	1.0	1.0