Al(001)表面上沉积Ti薄膜的分子动力学模拟

• 作者: 游晓燕 陈尚达
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ti/Al薄膜 沉积 分子动力学
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 原子分子物理交叉学科
• 页码范围: 353-359
• 分类号: O469
• 字数: 2848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2012.02.028

摘要

采用分子动力学模拟方法,研究了Ti原子连续沉积于Al(001)表面上的薄膜生长过程,分析了入射能量为0.1、5 eV和衬底温度为300、700 K时的界面结合及微观结构.模拟结果表明,增加入射能量和衬底温度,使Ti薄膜的表面越光滑;通过径向分布函数和键对分析技术对薄膜微观结构进行分析.发现衬底温度对薄膜微观结构影响较大,温度300K及以下时,Ti薄膜主要是FCC结构,随着温度升高,FCC结构成分减少,无序结构成分增加,而入射能量则对薄膜微观结构没有明显影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈尚达	湘潭大学材料与光电物理学院	12	22	3.0	4.0
2	游晓燕	湘潭大学材料与光电物理学院	2	1	1.0	1.0