两种耐高温紫外正型光刻胶成膜树脂的制备及性能

• 作者: 刘建国
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 紫外正型光刻胶 成膜树脂 耐热性 聚N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺 聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 330-337
• 分类号: O63
• 字数: 2947字
• 语种: 中文

摘要

分别通过N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺与N-苯基马来酰亚胺、N-苯基甲基丙烯酰胺与N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺的共聚合,制备了两种聚合物树脂聚N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺(poly(HPMA-coPMI))和聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺( poly( MPAco-HPMI)).结果表明,这两种聚合物都是按1:1的摩尔比交替共聚的,它们都具有良好的溶解性、成膜性和亲水性,并且它们的玻璃化温度Tg都在280℃以上.将它们分别与感光剂2,1,5-磺酰氯的衍生物、助剂二苯甲酮等复配成两种紫外正型光刻胶,初步光刻实验表明,其最大分辨率都可以达到1μm,并且都可以耐270℃的高温.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建国	华中科技大学武汉光电国家实验室激光与太赫兹功能实验室	117	790	13.0	21.0