磷硼元素在多晶硅中的研究

• 作者: 杨邦美 黄小明
• 来源期刊: 贵州工业职业技术学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 三氯氢硅 磷硼元素
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TQ170.1
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄小明		6	12	1.0	3.0
2	杨邦美		6	12	1.0	3.0