睿励推出MIP系列等离子体去胶设备

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子设备 等离子体 MIP 科学仪器
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 65-65
• 页数: 1页
• 分类号: TM862
• 字数: 727字
• 语种: 中文

摘要

睿励科学仪器的全资子公司睿励微电子设备（上海）有限公司（RMEC）隆重推出MIP系列等离子体去胶设备（Plasma Ashers）。