睿励推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 检测设备 宏观缺陷 SD系列 微电子设备 科学仪器 硅片
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 65-65
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 740字
• 语种: 中文

摘要

睿励科学仪器的全资子公司睿励微电子设备（上海）有限公司（RMEC）隆重推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备，包括适用于200mm及以下硅片的FSD200μ和适用于300mm硅片的FSD300。