微/纳米定位平台的动态特性分析与试验

• 作者: 俞松松 崔新辉 林超 王静超 程凯 陶友淘
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微/纳米定位平台 柔性机构 压电陶瓷驱动器 动态特性
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 1375-1381,1396
• 页数: 8页
• 分类号: TH139
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2012.08.004

摘要

为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动态试验,结果表明,平台的开环调节时间为0.812 s;驱动频率为100 Hz时,发生共振现象;加载小于10 N时,平台具有较好的稳定性;动态试验得到压电陶瓷、电容传感器和平台的分辨率分别为4、10和45 nm,且平台的重复定位精度为0.6 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林超		70	501	12.0	19.0
2	王静超		2	2	1.0	1.0
3	程凯		8	16	1.0	4.0
4	俞松松		6	1	1.0	1.0
5	崔新辉		3	1	1.0	1.0
6	陶友淘		4	0	0.0	0.0