二自由度微定位平台的研制

• 作者: 张大卫 田延岭 闫兵
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微定位平台 压电陶瓷驱动器 动态性能
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 94-99
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 2119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.01.017

摘要

研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台,该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨率等优点.为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出.考虑驱动电路的影响,建立了微定位平台的机电耦合模型.通过试验研究了微定位平台的静动态特性,试验结果表明微定位平台的分辨率为5 nm,固有频率分别为143 Hz和180 Hz.该微定位平台可应用于纳米级的微定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大卫	天津大学机械工程学院	146	2041	26.0	38.0
2	田延岭	天津大学机械工程学院	32	324	10.0	16.0
3	闫兵	天津工程师范学院机械工程系	3	74	3.0	3.0