宽光谱膜厚监控系统的评价函数修正技术

• 作者: 姜旭 尚小燕 韩军
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 膜厚监控 评价函数修正 模拟退火算法 逐层吸收补偿
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 157-162
• 页数: 6页
• 分类号: TP39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP49.023101

摘要

基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败.利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响,重新设计膜层数及预镀层厚度,获得新的评价函数,如此对评价函数进行逐层修正.实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-2以下,精度完全可以满足实际要求.