制备条件对镓掺杂氧化锌薄膜的透明导电性影响

• 作者: 刘敏霞 吴木营 张伟风 李洪涛 杨雷
• 来源期刊: 河南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 工艺条件 导电陶瓷 透明导电氧化物 镓掺杂氧化锌薄膜 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 现代物理与材料科学
• 页码范围: 707-711
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 3197字
• 语种: 中文

摘要

用高温固相反应法制备了镓掺杂的氧化锌导电陶瓷,研究了预烧温度、烧结温度和掺杂浓度等工艺条件；用射频磁控溅射方法分别在玻璃和石英基底上沉积了镓掺杂的氧化锌薄膜,研究了该薄膜在不同的基底温度和不同的氧氩比等条件下的光电性质的变化情况以及氮气氛下不同退火温度下的光电性质,结果表明:镓掺杂氧化锌薄膜在450℃的基底温度、2％的掺杂浓度和700℃的退火温度等条件下实现了0.84×10-4 Ω·cm的低电阻率和大于90％的可见光透过率,其光学带隙随退火温度的上升也有一定程度的增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟风	河南大学光伏材料重点实验室	66	248	8.0	10.0
2	李洪涛	东莞理工学院电子工程学院	26	78	6.0	7.0
3	吴木营	东莞理工学院电子工程学院	27	88	5.0	8.0
4	杨雷	东莞理工学院电子工程学院	68	406	11.0	16.0
5	刘敏霞	东莞理工学院电子工程学院	19	54	5.0	6.0