DRF-J45型镓单晶炉的开发与设计

• 作者: 李伯军 李杰 李留臣 袁长路
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 镓单晶炉 工艺特点 轴冷系统 机械结构 电气控制
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TF806
• 字数: 1252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.07.012

摘要

当前镓提纯方法大部分采用电解法,电解法生产出的镓晶体纯度不高,常常形成个别杂质元素超标。为了提高其晶体纯度,需采用晶体提拉法来进一步弥补并提升镓晶体提纯工艺方法。从分析镓单晶炉生长的工艺特点出发,简要介绍镓单晶生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型镓单晶炉的机械结构及电气控制系统。