微机电系统折叠梁开关低功耗方法研究与仿真

• 作者: 宋明歆 殷景华 郭海
• 来源期刊: 计算机仿真
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微波开关 弹性系数
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 仿真应用研究
• 页码范围: 404-407
• 分类号: TP391.9
• 字数: 3481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9348.2012.05.099

摘要

研究微机电系统中的功率消耗优化问题.微机电系统中利用折叠梁开关中的电容充放电控制一些大型的电路,当开关需要驱动较为复杂的电路时,为达到驱动效果,开关需要较大弹性系数的电容.传统的微机电系统工作原理中,电容的弹性系数和驱动电压成正比.过大的电容弹性系数将导致驱动电压过大,消耗的有效功率过高.为此,提出一种弹性敏感动态参数优化方法.通过建立折叠梁开关电容弹性系数的动态估计模型,确定功率的变化敏感性,通过充分研究电容弹性系数的动态估计模型,确定系统功耗与弹性系数的关联程度,保证参数时域内达到最优.实验表明,改进方法有效降低了微机电系统的功率消耗,取得了较好的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷景华	哈尔滨理工大学应用科学学院	74	301	9.0	12.0
5	宋明歆	哈尔滨理工大学应用科学学院	19	51	4.0	6.0
6	郭海	哈尔滨理工大学应用科学学院	25	104	7.0	9.0