不同Ti靶电流对Ti掺杂类石墨碳膜的结构和性能的影响

• 作者: 王永欣 王立平 薛群基
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: Ti掺杂类石墨碳膜 微观结构 摩擦学性能 靶电流
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 1372-1380
• 分类号: TB383.2
• 字数: 1162字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(11)61328-9

摘要

利用磁控溅射的方法成功制备Ti掺杂类石墨碳(Ti-GLC)膜.采用拉曼光谱、X射线光电子谱(ⅪS)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕仪和球盘式摩擦机分别表征不同Ti靶电流下制备的Ti-GLC膜的成分、结构和性能.随着Ti靶电流的增加,薄膜中sp2键的比率和Ti含量增加,同时薄膜的硬度和内应力也增大,但较高的Ti靶电流将会促使薄膜产生鳞片状结构从而使其变疏松.较少的Ti掺入量可以降低GLC膜的干摩擦因数,纯GLC膜在水润滑条件下的摩擦因数最低.在较低Ti靶电流下制备的Ti-GLC膜在于摩擦及水润滑条件下均具有较高的抗磨性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛群基	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	219	3991	32.0	53.0
2	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	57	810	15.0	27.0
3	王永欣	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	10	111	7.0	10.0