一种真空状态下的气体流量测量新方法

• 作者: 孟晓风 李晋阳 董登峰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 流量测量 调节阀 动态平衡 多元非线性回归
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 123-127
• 分类号: TB771
• 字数: 3570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.02.08

摘要

当空气绝对压力小于40kPa时,目前尚无简便有效的气流质量流量测量手段,为此本文设计了一套新颖的流量标定装置,并提出一种了流量测量方法.在流量调节过程中,调节阀必不可少.真空状态下,流经调节阀的流量几乎完全由阀前、后压力、气流温度四个变量决定.本文由流量标定装置获取有效的数据样本,基于多元非线性回归方法建立了流量与四者的关系表达式.一定范围内只要测定四个变量,则能直接计算出相应流量.实验结果表明计算值与实测流量偏差小于3.0％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟晓风	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	157	991	15.0	23.0
2	董登峰	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	6	38	4.0	6.0
3	李晋阳	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	4	25	3.0	4.0