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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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  • 1. He和Ne均匀DBD聚对苯二甲酸乙二酯薄膜改性效果比较
    作者： 刘源 方志 蔡玲玲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  767-773
    摘要： 相对于丝状放电模式,均匀介质阻挡放电(DBD)产生的等离子体功率密度适中,可以对材料表面进行更均匀的处理,在大规模工业应用上具有更为广阔的前景.本文用He和Ne均匀DBD产生的低温等离子体对...
  • 2. 原子氧处理减小多晶PZT-PMN薄膜漏电流的实验研究
    作者： 杨学龙 王兰喜 郭磊 陈学康
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  774-778
    摘要： 漏电流是铁电薄膜应用过程中的关键问题.本文通过磁控溅射法制备了结晶性能良好的铌镁锆钛酸铅(PZT-PMN)铁电薄膜,并在室温下用原子氧对其进行处理,研究了原子氧对PZT-PMN薄膜表层微观结...
  • 3. 直流磁控溅射制备SnO2薄膜的阻变特性研究
    作者： 刘宝营 张群
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  779-783
    摘要： 采用直流磁控溅射法在Pt/Ti/SiO基片上分别以三种不同的基板温度和后热处理工艺制备了二氧化锡(SnO2)薄膜.采用X射线衍射仪对三种薄膜的晶格结构进行了分析表征,通过Keithley 4...
  • 4. 柔性PET衬底上低温制备TZO透明导电薄膜
    作者： 刘汉法 张化福 袁长坤
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  784-788
    摘要： 利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌透明导电薄膜(TZO).通过X射线衍射和扫描电镜等表征方法对薄膜结构和特性进行测试分析,研究了靶与衬底之间的距离(靶基距)...
  • 5. 低能原电子下形状因子对金属曲面二次发射系数的影响
    作者： 田立成 陈占林 龙建飞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  789-792
    摘要： 提出金属曲面二次电子发射的形状因子概念,并从理论上论述了形状因子对曲面二次电子发射系数的影响.从半经验理论出发,推导出低能原电子入射下,金属曲面二次发射系数与入射角的近似关系,并结合曲面形状...
  • 6. 金属栅回刻平坦化技术
    作者： 叶甜春 孟令款 徐秋霞 殷华湘 陈大鹏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  793-797
    摘要： 随着CMOS集成电路技术节点缩减到45nm及以下,高K金属栅(HK/MG)的后栅集成工艺已逐渐成为先进集成电路制造中的主流技术.其中金属栅(假栅)集成结构的平坦化是实现后栅集成的关键技术之一...
  • 7. 运用蒙特卡罗方法分析像增强器分辨率
    作者： 付小倩 任玲 常本康 武梅娟 石峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  798-801
    摘要： 介绍了运用蒙特卡罗方法分析三代微光像增强器分辨率的方法.该方法取一组随机数,来模拟像管中光电阴极受激发射的电子.综合考虑微通道板参数、第一近贴距、第二近贴距、阴极电压和荧光屏电压等影响,模拟...
  • 8. 球差对电子束轰击炉电子光学系统磁聚焦的影响研究
    作者： 刘春东 张东辉 朱春华 梁建明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  802-804
    摘要： 对电子束轰击炉电子光学系统磁聚焦过程中产生的球差进行了研究.分析了有限放大倍数下磁透镜产生的球差系数.根据两个磁透镜各自的球差系数建立了双聚焦系统球差系数的数学模型.为减小球差对双聚焦系统聚...
  • 9. 基于Nastran等离子喷涂厚壁零件涂层中残余应力分析
    作者： 史冠勇 张延安 牛丽萍 赫冀成
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  805-809
    摘要： 基于有限元数值分析对等离子喷涂不同的基体上的喷涂陶瓷涂层和金属涂层中残余应力进行了分析,结果表明:涂层与基体体系的最大应力分布在接触界面附近,由中心线向外依次递增,在边缘处达到最大值.在体系...
  • 10. 圆柱形阳极层霍尔推进器的工作特性与离子束流研究
    作者： 王世庆 许丽
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  810-813
    摘要： 主要对圆柱形阳极层霍尔推进器进行实验研究,得到推进器的工作特性、离子束分布、束流中电子的含量等结果.并且给出圆柱形阳极层霍尔推进器的最佳工作参数:工作电压在700～ 1000V之间,电流在0...
  • 11. 真空碳热还原红土镍矿制取金属镁的热力学分析及实验研究
    作者： 刘红湘 徐瑞 戴永年 曲涛 杨斌 田阳 罗启
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  814-819
    摘要： 通过热力学计算,得出红土镍矿被C还原的化学反应自由能和各还原反应临界温度,表明真空可有效降低化学反应自由能,确定了碳热还原氧化镁制取金属镁的反应温度为1200～ 1350℃,同时存在氧化镁的...
  • 12. 真空蒸馏分离锡铁合金的研究
    作者： 刘大春 徐宝强 戴永年 杨斌 熊恒 熊玉伦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  820-824
    摘要： 从理论和实验两方面讨论了锡铁合金分离的可能性和规律性.利用真空感应熔炼炉与立式真空蒸馏炉,实验考查了蒸馏温度、蒸馏时间、炉内压力以及电磁搅拌作用对锡铁合金分离效果的影响.结果表明:在真空感应...
  • 13. 无压烧结合成纯Ti3SiC2及其晶体生长机理
    作者： 刘金银子 唐华 朱秉莹 李长生 杨锋 胡志立 高庆侠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  825-829
    摘要： 在1400℃,用Ti,Si,C,Al,NaCl原料,氩气保护下无压烧结合成出纯净的、层状的Ti3SiC2陶瓷.用X射线衍射、扫描电子显微镜,透射电子显微镜对Ti3Sic2陶瓷的物相、表面形貌...
  • 14. 一种长波红外宽光谱长波通滤光片的设计与镀制
    作者： 叶自煜 张佰森 朱忠奎
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  830-833
    摘要： 长波红外宽光谱长波通滤光片是光谱成像技术中重要的光学元件.本文研究了一种宽光谱长波通滤光片优化设计,论述了设计长波红外宽光谱长波通滤光片的设计原则和方法.根据等效折射率理论,以周期性对称膜系...
  • 15. CIGS薄膜太阳能电池无镉缓冲层制备方法的研究现状
    作者： 莫晓亮 陈国荣 霍晓旭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  834-840
    摘要： 回顾了近年来CIGS薄膜太阳能电池无镉缓冲层的研究进展；着重介绍了In2S3,ZnS,Zn1-xMgxO三种可替代CdS缓冲层材料的常用制备方法及相关特性,并且对应给出了每种材料和方法获得的...
  • 16. Roll-to-roll MPECVD中氧气浓度对氧化硅薄膜性能的影响
    作者： 刘福平 陈强 齐凤阳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  841-844
    摘要： 介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,于PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺.研究不同的工艺条件下,薄膜的阻隔性能,硬度及其影响的因素.实...
  • 17. Si(111)7×7表面Na沉积过程的光学二次谐波法研究
    作者： 孙丽娜 张金仓 曹世勋 王春涛 白丽华 邓冬梅
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  845-849
    摘要： 用原位光学二次谐波方法监测了室温时Na在Si(111)7×7表面沉积过程中的信号变化.室温下Na沉积量小于饱和单层时信号变化比较复杂,随Na沉积量的变化依次出现三个特征峰.覆盖度约0.45 ...
  • 18. 干式罗茨真空泵吸气级内流动的瞬态模拟
    作者： 刘坤 岳向吉 巴德纯 张振厚 王光玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年9期
    页码:  850-855
    摘要： 基于动网格方法建立了干式真空泵罗茨型吸气级的三维瞬态数值计算模型.模拟结果与抽速曲线对比,入口压力为1000 Pa时误差为11.5％,100 Pa时误差为34.2％,表明计算流体力学(CFD...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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