真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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目录
  • 作者: 刘峰 李洪霞 李相波 王佳
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  269-273
    摘要: 在室温下,采用大气压等离子体射流对船体钢进行表面改性,通过水接触角测量、扫描电镜、X射线光电子能谱等分析测试方法研究了等离子体射流处理前后船体钢表面润湿性、表面形貌及化学特性的变化.研究结果...
  • 作者: Richard Pitts W.R.Wampler 李建刚 闫洪一 龚先祖
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  274-278
    摘要: 在磁约束聚变实验装置托卡马克中,第一壁材料直接面对高温等离子体,承受高能粒子的轰击.随着聚变装置等离子体存在时间的延长及辅助加热功率的增加,第一壁材料腐蚀和沉积将会越来越严重.材料的腐蚀一方...
  • 作者: 刘金远 李世刚 段萍 赵晓云
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  279-284
    摘要: 建立了包括电子、离子以及器壁发射二次电子的磁化等离子体鞘层流体模型,采用四阶龙格库塔法数值研究了伴有二次电子发射的磁鞘结构特性.模拟结果显示二次电子发射对于弱磁等离子体鞘层中的离子密度影响较...
  • 作者: 吕军慰 李迎松 陈自力
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  285-290
    摘要: 由气体分子动力学及波尔兹曼方程建立了基于柱形单极表面波等离子天线结构的控制模型,通过推导和计算得出了一系列模型方程.通过与实验数据的分析对比,发现在一定条件下模型数据与实验测试结果吻合良好....
  • 作者: 于辉 唐恩凌 张薇 李乐新 李志秋 杨明海 相升海
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  291-295
    摘要: 在超高速碰撞的早期阶段会产生瞬态等离子体云,等离子体云能以某种机理产生电流和磁场.在靶板表面的等离子体云中产生的非线性电子温度和电子密度梯度将产生磁场,场的持续时间从10-6s到约60s,依...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 李冬生 杨斌 邓勇
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  296-300
    摘要: 利用纯度为99.7%粗铟为原料,采用真空蒸馏的方法从粗铟中直接脱除镉、锌、铊、铅.分别进行了蒸馏温度、蒸馏时间、投料量等的条件实验.结果表明,控制真空度1~5Pa,蒸馏温度950℃,蒸馏12...
  • 作者: 刘大春 唐万启 徐宝强 李亮 杨斌
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  301-305
    摘要: 采用高锑铅阳极泥为原料,对其真空蒸馏制备粗锑的原理和工艺进行探讨,理论和实验均证实了该方法的可行性.试验结果表明:系统压力5~10Pa,蒸馏时间60 min,一次蒸馏温度在923~1143 ...
  • 作者: 刘红湘 彭鹏 戴永年 曲涛 杨斌 田阳
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  306-311
    摘要: 采用物料失重率、金属Mg还原率、X射线衍射(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)等手段与方法,研究了真空条件下氧化镁碳热还原温度、物料造球成型压力、物料配比、碳热还原保温时间以及催化剂对氧化镁...
  • 作者: 冯乃祥 尤晶 王耀武
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  312-317
    摘要: 对以煅后白云石和煅后菱镁石为原料,以铝粉为还原剂的新法炼镁技术的热力学进行了分析,并进行了真空热还原实验.通过X射线衍射和扫描电子显微镜对还原渣的主要物相与物质形态进行了分析.实验结果表明:...
  • 作者: 何秉元
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  318-323
    摘要: 随着集成电路芯片器件特征尺寸不断缩小和一些特色工艺的要求,金属薄膜淀积对反应腔真空度和残余气体的要求越来越高,尤其对于高温厚铝溅射工艺,真空反应腔微环境的细小变化可能导致器件失效.本文采用氦...
  • 作者: 李洁 郭美霞
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  324-327
    摘要: 用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了钛镓共掺杂氧化锌(GZO∶Ti)透明导电薄膜,研究了溅射压强和功率对GZO∶Ti薄膜的微观结构和光电性能的影响.研究结果表明,所制备的GZO∶Ti薄膜...
  • 作者: 朱祎国 毛文
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  328-331
    摘要: 利用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法模拟了Cu薄膜在四方基底上的三维生长过程.模型中考虑了三个主要的原子热运动过程:原子沉积、原子扩散、原子脱附,各过程发生的概率是由各运动的速率来决定...
  • 作者: 沈杰 贾晓明 马进
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  332-336
    摘要: 钢板表面的锌镁合金镀层可以提高其耐腐蚀性能,而锌镁金属间化合物MgZn2和Mg2Zn11的形成可能是耐腐蚀性能提高的主要因素.本文在镀锌钢板表面采用真空热蒸发镀镁,并由快速退火工艺形成锌镁合...
  • 作者: 戴家瑜 杨浩 林传富
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  337-340
    摘要: 描述了上海天文台在2008年为提高被动型氢原子钟真空系统的可靠性所研制的由非蒸散型吸气剂泵和小离子泵组成的复合泵的实验过程,吸气剂泵在室温下吸收2.1 MPa·1的H2气后仍可达到3.2×1...
  • 作者: 卜继国 尉秀英 张艳 杜军 毛昌辉
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  341-346
    摘要: 非蒸散型吸气薄膜是大型超高真空系统设备维持超高真空的重要材料,近来又成为基于物联网应用的MEMS器件维持可靠性和长寿命的关键材料.本文综述了非蒸散型薄膜吸气剂的基本原理、材料体系和制备技术,...
  • 作者: 丁铁柱 何杰 李丽丽 韩磊
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  347-351
    摘要: 采用脉冲激光沉积溅射法在玻璃衬底上制备Cu-In-Ga预制膜,后经硒化、退火处理,得到CIGS薄膜.采用X射线衍射仪表征了薄膜的晶体结构,采用扫描电子显微镜和能量散射谱观察和分析了薄膜的表面...
  • 作者: 刘杰 孟月东 廖建平 舒兴胜 蒋仲庆 遇鑫遥
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  352-356
    摘要: 用共溅射的方法制备了Pt-C薄膜,薄膜由Pt纳米粒子和非晶C组成.电子显微镜和X射线衍射的测试结果显示Pt纳米粒子镶嵌在非晶C之中.高分辨率透射电子显微图像证实了2~3nm的Pt粒子镶嵌于非...
  • 作者: 关志强 李敏 蒋小强 郑立静
    发表期刊: 2012年4期
    页码:  357-361
    摘要: 为了获得调压调温的优化组合对栉孔扇贝真空冷冻干燥过程的品质、能耗和时间的综合影响,在前期研究的基础上,本文对两次变温和一次变压的温度和压力组合参数进行了五因素四水平的正交组合试验,并以能耗、...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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