多晶硅还原尾气中再生氢气的回收利用

• 作者: 唐伟博 王程 田茂远 贾坤 陈自力
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅还原尾气 再生氢气 同收利用 经济效益 环境效益
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 应用科技
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TQ116.2
• 字数: 2408字
• 语种: 中文

摘要

针对多晶硅还原尾气干法回收过程中吸附塔再生氢气的排废所带来氢气浪费、废气处理成本高、污染物排放量大等问题，采用变温、变压吸附工艺将再生氢气净化后回哪收利用。通过对净化后产品的组分和成本分析，总结出再生氢气回收利用给多晶硅生产带来巨大的经济和环境效益。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田茂远		2	3	1.0	1.0
2	唐伟博		1	2	1.0	1.0
3	陈自力		6	17	2.0	4.0
4	贾坤		4	2	1.0	1.0
5	王程		1	2	1.0	1.0