一种微机械谐振式加速度计的自激驱动控制

• 作者: 刘恒 孟瑞丽
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 谐振 自激 平均周期法
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 107-110
• 分类号: TN911.71
• 字数: 3157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.04.038

摘要

为了研制谐振微机械加速度计,文中介绍了静电刚度的谐振式微加速度计的工作原理,并根据闭环控制要求,建立了基于自激原理的系统分析方程,利用平均周期法分析了系统稳定性和振动幅度稳态平衡点.理论分析确定了系统起振条件和相位偏差对闭环振幅和频率的影响.对基于体硅溶片制造和真空封装的谐振微加速度计,自激闭环测试结果表明检测电压1V时,灵敏度为18 Hz/g；检测电压5V时,灵敏度为58 Hz/g,10 min内闭环谐振频率最大漂移0.2 Hz,可分辨加速度约3.5mg.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恒	南京信息工程大学电子与信息工程学院	31	75	4.0	6.0
2	孟瑞丽	南京信息工程大学电子与信息工程学院	13	36	3.0	5.0