无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性

• 作者: 吴亚明 徐静 翟雷应 钟少龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 光相位调制器 无交叠垂直梳齿驱动器 平动微镜 保角变换法 静电驱动
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1772-1781
• 分类号: TN761.92|TH703.6
• 字数: 6025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122008.1772

摘要

为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性.从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型；以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析.采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性.实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28 V偏压下机械位移可达325 nm,相位差为2π；在90 V的偏压下能够获得2.07μm静态位移.测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室	29	244	9.0	15.0
2	钟少龙		10	54	5.0	7.0
3	吴亚明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室	35	193	9.0	11.0
4	翟雷应	中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室	1	2	1.0	1.0