飞秒激光扫描不同温度下的硅片诱导形成微结构的差别

• 作者: 冯国英 李玮 柳岿 邓国亮
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 超快光学 飞秒激光脉冲 能量阈值 硅 微结构
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0803003

摘要

不同温度下利用钛宝石激光器输出的飞秒激光脉冲(脉宽42 fs,中心波长800 nm,最大单脉冲能量3.6 mJ),通过扫描方式在硅表面诱导产生表面微结构.采用光学显微镜和扫描电镜观察飞秒激光诱导硅表面微结构的形貌,发现不同温度下硅片表面形成的微结构区域和形貌出现明显的差异.根据观测结果,分析比较了不同温度条件下硅材料微结构形成的能量阈值.随着温度升高,形成的微结构区域减小,飞秒激光诱导形成硅表面微结构的能量阈值升高.这对于研究飞秒激光与物质的相互作用有一定的参考价值,也能对将来实现硅表面微结构的制作提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玮		52	290	9.0	14.0
2	冯国英		206	899	13.0	20.0
3	邓国亮		13	24	4.0	4.0
4	柳岿		2	5	1.0	2.0