三氯氢硅中硼、磷含量检验方法研究

• 作者: 卢刚涛 安亚亚 宗凤云 李琰 高炎
• 来源期刊: 内蒙古科技与经济
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 电感耦合等离子体发射光谱 硼 磷 检验方法
• 年，卷（期）: 2012,（21）
• 所属期刊栏目: 技术工程
• 页码范围: 83-84
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 1270字
• 语种: 中文

摘要

建立三氯氢硅中硼、磷含量电感耦舍等离子体发射光谱检验方法。该方法中硼的标准样品加入回收率为94．40％～100．80％；磷的标准样品加入回收率为91．20％～93．60％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宗凤云		3	3	1.0	1.0
2	李琰		8	10	2.0	2.0
3	高炎		1	3	1.0	1.0
4	卢刚涛		2	3	1.0	1.0
5	安亚亚		2	3	1.0	1.0