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摘要:
文章介绍了一种表征电镀铜添加剂的副产物的方法.具体方法是恒流法,在一恒定的电流密度下,利用阴极电位变化值Δφ的大小来进行添加剂的副产物的表征.首先,采用此方法分析电镀液各组分不同浓度对Δφ的影响,发现各组分浓度在控制范围内变化时,Δφ小于某一定值;然后,通过空气氧化、H2O2氧化、电解的方法产生副产物,Δφ值有明显的增大;最后,通过不同的处理方式后,Δφ值有明显的降低,大部分的副产物被除去.
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文献信息
篇名 电化学方法分析电镀铜添加剂的副产物
来源期刊 印制电路信息 学科 工学
关键词 添加剂 副产物 恒流法 阴极电位
年,卷(期) 2013,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 228-232
页数 分类号 TN41
字数 2847字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈蓓 49 66 4.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
添加剂
副产物
恒流法
阴极电位
研究起点
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相关学者/机构
期刊影响力
印制电路信息
月刊
1009-0096
31-1791/TN
大16开
上海市闽行区都会路2338号95号楼CPCA大厦2楼
1993
chi
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