等离子体刻蚀对CdTe太阳电池性能的影响

• 作者: 宋慧瑾 鄢强
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 刻蚀 CdTe薄膜 太阳电池
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 215-220
• 页数: 6页
• 分类号: TM914.42
• 语种: 中文

摘要

采用不同干法腐蚀条件下的CdTe薄膜制成器件,通过I-V、C-V和光谱响应等测试了电池性能参数.结果表明,溅射时间太短和功率太小时不能完全去除氧化层,溅射时间过长和功率过高会对薄膜表面造成损伤,影响器件性能.通过选择器件性能较好的电池、找出适合等离子束溅射工艺的条件,所制成的电池转化效率达到10.99％;而湿法腐蚀所制成器件的转化效率为10.26％.由此可以认为,等离子束轰击溅射的腐蚀方法较湿法腐蚀更适用于CdTe太阳电池的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鄢强		5	13	2.0	3.0
2	宋慧瑾		4	0	0.0	0.0