水分子诱导类金刚石薄膜表面的变化

• 作者: 张俊彦 欧玉静 王永富
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 水分子 表面化学
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 48-51
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.06.008

摘要

利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石(DLC)薄膜,并将其分别浸泡在经磁场处理和未经磁场处理的去离子水中.利用X射线光电子能谱仪、原位纳米力学测试系统和高速摩擦磨损测试仪分析和比较在水和磁化水中浸泡后DLC薄膜表面的变化情况.结果表明:磁场作用将改变经过DLC薄膜表面微孔或缺陷渗进薄膜内的水分子个数,进而诱导DLC薄膜表面发生变化.在含水环境中,比如液体水中,水分子参与反应并诱导C=C键朝向C-C或C-H键转化,并且氢原子将进入薄膜内中和膜内自由基,进而导致其硬度,摩擦因数升高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永富	兰州理工大学石油化工学院	13	45	4.0	6.0
3	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	59	707	12.0	25.0
4	欧玉静	兰州理工大学石油化工学院	37	119	6.0	9.0