CPW在铁电薄膜介电常数测量中的结构优化

• 作者: 傅强之 占小武 唐宗熙
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: 复介电常数 共面波导(CPW) 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 测评与应用
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TN623
• 字数: 1425字
• 语种: 中文

摘要

共面波导线(CPW)被广泛用于测量铁电薄膜的复介电常数.共面波导电路通常被制作在沉淀了薄膜的铝制基片上,该文分析了薄膜的复介电常数与共面波导(CPW)的尺寸与谐振频率、品质因数之间的关系.由于铁电薄膜通常是中低损耗材料,并且厚度很薄,所以周边环境对介电常数的测量结果准确度有较大的影响.为了获得更高的测试灵敏度的同时获得更高的准确度,该文对共面波导谐振器(CPW)在不同尺寸条件下,谐振频率的改变,品质因数的变化和高次模抑制进行了分析,结果显示最优结构尺寸是共面波导的缝隙宽度(g)等于共面波导的厚度(h),同时,缝隙的宽度(g)不能超过共面波导微带线宽度的两倍(2s).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐宗熙	电子科技大学电子工程学院	44	380	10.0	18.0
2	傅强之	电子科技大学电子工程学院	2	3	1.0	1.0
3	占小武	电子科技大学电子工程学院	2	3	1.0	1.0