多晶硅中杂质含量、分布及其检测方法的探讨

• 作者: 丛山 廉景燕 李闻笛
• 来源期刊: 化学工业与工程
• 学科: 化学
• 关键词: 多晶硅 杂质 含量 分布 检测方法
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 73-78
• 分类号: O657.3
• 语种: 中文

摘要

多晶硅中杂质的组成及含量是衡量多晶硅产品质量的重要指标之一,由于其杂质组成复杂、含量低于常规检测方法检出限,这就使对多晶硅中杂质含量、分布及检测方法的研究具有重要意义.概述了目前用于检测分析多晶硅中杂质含量、分布的方法及其优缺点；总结了近年来国内外在多晶硅杂质检测方法研究中的进展以及多晶硅中杂质的含量和分布数据,为多晶硅的检测提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廉景燕	天津理工大学化学化工学院	34	197	9.0	11.0
2	丛山		6	28	3.0	5.0
3	李闻笛	天津大学化工学院	2	20	2.0	2.0