提高紫外激光划切质量的方法与措施

• 作者: 刘红英 杨松涛
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外激光 划切设备 质量缺陷
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 1-5,22
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2606字
• 语种: 中文

摘要

随着紫外激光加工在半导体、微电子等领域的广泛应用,紫外激光加工质量已受到业界广泛关注.应用“六西格玛”质量分析方法对紫外加工质量缺陷产生原因进行分析,并为提高紫外激光划切质量提出一些方法与措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨松涛		13	37	3.0	5.0
2	刘红英		4	4	1.0	1.0