背照射波长延伸InGaAs面阵焦平面探测器

• 作者: 张永刚 朱耀明 李雪 邓洪海 魏鹏 黄松垒 龚海梅
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: InGaAs 暗电流 R0A 寄生电容
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 214-219
• 页数: 6页
• 分类号: TN215
• 字数: 3181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2013.00214

摘要

在MBE外延生长的In0.8 Al0.2 As/In0.8 Ga0.2 As材料上,采用台面成型方法制备了背照射32×32元InGaAs探测器,其中心距为30μm,并详细分析了探测器及其焦平面光电性能.结果表明,温度高于220 K时吸收层材料热激活能为0.443 eV,300 K时在所考虑的偏压范围内,暗电流主要由扩散电流、产生复合电流及其欧姆漏电流构成.对组件焦平面特性也进行了研究,并通过读出电路的变积分电容测试结构测试结果提取出积分电容上的寄生电容,在测试温度范围内约为10 fF左右.