球面光学元件表面疵病检测技术研究

• 作者: 刘缠牢 王科
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 交通运输
• 关键词: 球面光学元件 表面疵病 散射光 机器视觉
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 7-10,14
• 页数: 5页
• 分类号: U472.9
• 字数: 2225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2013.02.002

摘要

针对现有球面光学元件表面疵病检测技术研究较少的情况,根据疵病对光的散射特性,提出了一种基于机器视觉技术检测球面光学元件表面疵病的方法.实验分析了光照角度、光强大小和球面光学元件曲率半径对疵病散射光成像质量的影响.并对口径为Φ14 mm,曲率半径为13 mm的球面光学元件表面进行了检测,实验表明,该技术对元件样品上10 μm以下的表面疵病可进行有效的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘缠牢	西安工业大学光电工程学院	41	254	9.0	14.0
2	王科	西安工业大学光电工程学院	3	7	1.0	2.0