含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术

• 作者: 刘阳升 曾望明 王在清 范峻 靳福江
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 剥离技术 柱状隔垫物层 金属氧化铟锡 刻蚀液 剥离液
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 220-223
• 页数: 4页
• 分类号: TK730.2
• 字数: 1970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20132802.0220

摘要

介绍了一种含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术.采用层数顺序方法,两步剥离工艺.第一步,采用剥离液,进行260 s,迅速剥离柱状隔垫物层；第二步,刻蚀液进行650 s和剥离液进行650 s共同作用,先后剥离玻璃基板上透明导电氧化铟锡层、颜色层,挡光层.使之剥离后成为可以再次利用的干净白玻璃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳福江		2	2	1.0	1.0
2	王在清		1	1	1.0	1.0
3	范峻		1	1	1.0	1.0
4	刘阳升		1	1	1.0	1.0
5	曾望明		1	1	1.0	1.0