微机械压力传感器结构稳健优化与实验研究

• 作者: 薄纪康
• 来源期刊: 机械设计
• 学科: 工学
• 关键词: 液压系统 微机械压力传感器 加工误差 稳健优化
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 68-72
• 页数: 5页
• 分类号: TH812|TH122
• 字数: 2783字
• 语种: 中文

摘要

以一种液压用微机械压力传感器为研究对象,在分析其结构和工作原理基础上,提出了固有频率对加工误差的灵敏度分析方法,得到了对微机械压力传感器固有频率影响较大的尺寸参数,为后续优化和实际加工提供了可控参考.为提高微机械压力传感器的加工稳定性和性能指标,进行了微机械压力传感器结构稳健优化设计,推导了稳健性能约束条件,提出了设计变量、目标函数、尺寸约束条件和模态性能约束条件,建立了微机械压力传感器结构稳健优化的数学模型.稳健优化结果表明,微机械压力传感器的加工稳定性和灵敏度都有了较大提高.进行了实际加工和测试,测试结果表明稳健优化后的微机械压力传感器具有较高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薄纪康	宁波职业技术学院工程训练中心	9	120	4.0	9.0