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硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿
硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿
作者:
曹慧亮
李宏生
杨波
王寿荣
黄丽斌
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅微机械陀螺仪
测温电路
温度补偿
标度因数
零偏
热敏电阻
摘要:
提出了一种基于微机械陀螺仪测控电路进行温度补偿的方法.介绍了本课题组自主研发的SHH17#陀螺结构,分析了温度变化对陀螺的影响,并对驱动和检测模态的谐振频率,品质因数以及标度因数和零偏进行了测试.分析了陀螺结构的动力学方程以及测控电路,指出了标度因数与驱动幅度和检测回路增益成正比,与两模态频差成反比.以热敏电阻为补偿元件在检测次级放大器中补偿标度因数,然后以直流叠加的方法在低通滤波器模块对零偏的温度系数和输出值进行了补偿,并介绍了补偿参数的配置方法.实验显示,经过温度补偿,标度因数和零偏的温度系数分别由393×10-6· ℃-1和75(°)·h-1·℃-1减小到了73×10-6·℃-1和20(°)·h-1·℃-1,补偿后0 ℃零偏值由89.59 mV减小到7.33 mV,标度因数和零偏的温度系数分别减小了80%和73%.得到的结果证明了补偿方法的正确性和可行性.
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一种新颖的z轴硅微陀螺仪信号检测方案研究
硅微陀螺仪
灵敏度
动力学模型
Simulink
静电驱动微机械梳状陀螺仪中典型结构的可靠性研究
可靠性
微机械陀螺仪
典型结构
MEMS
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿
来源期刊
光学精密工程
学科
交通运输
关键词
硅微机械陀螺仪
测温电路
温度补偿
标度因数
零偏
热敏电阻
年,卷(期)
2013,(12)
所属期刊栏目
微纳技术与精密机械
研究方向
页码范围
3118-3125
页数
8页
分类号
U666
字数
3067字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20132112.3118
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王寿荣
东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
94
1158
19.0
28.0
2
李宏生
东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
61
479
11.0
18.0
3
杨波
东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
74
553
13.0
19.0
4
黄丽斌
东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
25
306
12.0
16.0
5
曹慧亮
东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
5
34
3.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(38)
共引文献
(60)
参考文献
(13)
节点文献
引证文献
(19)
同被引文献
(37)
二级引证文献
(44)
1991(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1996(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1998(1)
参考文献(1)
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2000(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2001(1)
参考文献(0)
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2003(6)
参考文献(0)
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2004(2)
参考文献(0)
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二级参考文献(2)
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参考文献(0)
二级参考文献(6)
2007(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
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参考文献(3)
二级参考文献(7)
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参考文献(3)
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参考文献(2)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
2013(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2014(4)
引证文献(4)
二级引证文献(0)
2015(4)
引证文献(1)
二级引证文献(3)
2016(8)
引证文献(3)
二级引证文献(5)
2017(12)
引证文献(3)
二级引证文献(9)
2018(10)
引证文献(3)
二级引证文献(7)
2019(19)
引证文献(3)
二级引证文献(16)
2020(4)
引证文献(1)
二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
硅微机械陀螺仪
测温电路
温度补偿
标度因数
零偏
热敏电阻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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