TFT-LCD横向线状未确认Mura分析及改善研究

• 作者: 彭毅雯 徐伟 邱海军 雷有华
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 横向线状Mura 扇形区域 栅极线金属层交替布线
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 539-546
• 页数: 8页
• 分类号: TN87
• 字数: 3335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20132804.0539

摘要

研究了产品开发过程中新出现的一种原因未知的横向线状Mura问题.通过分析和改善研究表明,Gate Fan-out区域栅极线金属交替布线设计中不同金属层线电阻差异是导致横向线状未确认Mura发生的主要原因；通过变更栅极线金属层厚度及材料,以降低整体电阻和不同金属层线电阻差异可以解决此种不良现象；并通过试验论证此方法的量产可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐伟	清华大学电子工程系	15	127	7.0	11.0
5	雷有华	清华大学电子工程系	6	28	3.0	5.0