TFT-LCD Stage Mura的研究与改善

• 作者: 周鹏 张然 章旭 肖洋 郑云友 闫润宝 魏崇喜 齐勤瑞
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 色斑 线宽 像素间距
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 269-274
• 页数: 6页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 1992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20173204.0269

摘要

TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura,影响液晶显示器的品质,经过图形匹配,缺陷与曝光机机台形貌匹配.通过对异常区域特性分析,发现异常区域的BM CD、BM 像素间距存在异常.对原因进行模型分析:玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲,曝光距离变短,致使BM PR受光区域变小,BM CD会偏小,进而导致区域性透过光不均一产生Mura;玻璃弯曲后BM 像素间距相对于设计位置也会发生变化,从而导致漏光产生Mura.经过实验验证,BM CD和像素间距的偏差主要由机台凸起导致glass弯曲引起,可以通过降低吸附压力和研磨机台,来改善CD差异和像素间距偏移,同时像素间距偏移漏光,也可以通过增加CD来改善.最终通过BM CD增加、研磨机台和降低吸附压力措施,Stage Mura不良率由10.05％下降至0.11％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章旭		5	6	1.0	2.0
2	齐勤瑞		4	5	1.0	2.0
3	张然		4	5	1.0	2.0
4	郑云友		6	25	4.0	4.0
5	肖洋		1	5	1.0	1.0
6	周鹏		2	5	1.0	2.0
7	闫润宝		2	5	1.0	2.0
8	魏崇喜		1	5	1.0	1.0