BPSG膜双极晶体管的抗电离辐照性能研究

• 作者: 吕曼 吕长志 孙江超 张小玲 张彦秀 王鹏鹏 谢雪松
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: BPSG 钝化层 电离辐照 退火
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TL72
• 字数: 2540字
• 语种: 中文

摘要

对SiO2+BPSG+SiO2钝化结构和SiO2+SiN钝化结构的双极晶体管和JW117集成稳压器进行了60Co的γ辐照和不同温度下退火行为研究.结果表明,覆盖BPSG钝化膜的器件抗辐照性能明显强于SiN钝化膜的器件.BPSG对Na+具有很好的吸收作用,SiO2层中的Na+很大部分被吸收到BPSG膜中,降低了双极晶体管基区的表面复合速率,减少过剩基极电流,这可能是BPSG钝化膜器件抗辐照性能好的主要原因.通过对器件辐照后不同温度下的退火实验,保证了BPSG钝化膜器件辐照后的工作可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕长志		60	471	12.0	18.0
2	谢雪松		66	554	14.0	20.0
3	张小玲		69	447	11.0	18.0
4	吕曼		6	28	4.0	5.0
5	王鹏鹏		3	14	3.0	3.0
6	张彦秀		5	17	3.0	4.0
7	孙江超		5	17	3.0	4.0