MEMS惯性开关的系统级仿真

• 作者: 刘双杰 郝永平 韩旭
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 系统级分析 惯性开关 瞬态分析 模态分析
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TM564
• 字数: 1148字
• 语种: 中文

摘要

提出一种基于静电控制,具有阈值可调功能的微电子机械系统(MEMS)惯性开关.采用CoventorWare软件中的Architect模块对MEMS惯性开关进行系统级建模与仿真.分析了多物理耦合场下MEMS惯性开关的动态响应特性,得到阈值加速度和电压的对应关系曲线.结果表明:通过改变初始电压,可以调节开关阈值大小;对开关进行了系统级的模态分析和谐响应分析,MEMS惯性开关的工作频率范围在22.901 kHz以内且具有抗击104g正弦加速度的能力.