半导体材料测试仪器的设计与制作

• 作者: 周凤星 张坤 柯晓娟
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 电阻率 电动势率 大林算法
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表
• 页码范围: 28-29,32
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 2062字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种在不同温度条件下测量半导体材料电阻率和电动势率的仪器,实现了在不同温度下半导体材料电阻率和电动势率的精确测量;采用电阻炉构建了温度可变的测试环境,电阻炉是具有大滞后特性的被控对象,控制系统中采用大林算法,实现了快速升温过程,控制精度达到了±3℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周凤星	武汉科技大学冶金自动化及检测技术教育部工程研究中心	142	835	15.0	21.0
2	张坤	武汉科技大学冶金自动化及检测技术教育部工程研究中心	8	43	3.0	6.0
3	柯晓娟	武汉科技大学冶金自动化及检测技术教育部工程研究中心	2	12	1.0	2.0