透明材料微小器件键合质量检测系统设计

• 作者: 刘志华 王小鹏 陈天宁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 机器视觉 可见光透射 微器件 键合质量检测
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 69-76
• 页数: 8页
• 分类号: TP242.6|TH706
• 字数: 3680字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132101.0069

摘要

针对材料和结构均特殊的透明材料微小器件的键合质量检测,提出了可见光透射机器视觉检测法.分析了检测系统硬件中主要部件的性能要求,研究了该检测系统的图像处理技术.检测系统利用光源、相机、镜头和计算机等主要部件实现图像采集功能,并通过图像相减、灰度直方图调整、图像滤波和图像二值化等图像处理功能来完成质量检测.实验结果表明,提出的可见光透射机器视觉检测法能灵敏有效地检测出透明材料微小器件键合位置处存在的键合间隙和缺陷大小,检测精度可达10 μm,满足透明材料微小器件键合质量的要求,是一种高效、非接触、无损、无污染的检测方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈天宁	西安交通大学机械工程学院机械结构强度与振动国家重点实验室	95	990	17.0	28.0
2	王小鹏	西安交通大学机械工程学院机械结构强度与振动国家重点实验室	41	142	6.0	9.0
3	刘志华	西安交通大学机械工程学院机械结构强度与振动国家重点实验室	7	41	4.0	6.0