我国多晶硅铸锭坩埚的现状与发展

• 作者: 李贵佳
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅锭 坩埚 熔融石英 反复使用
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 2297-2301
• 页数: 5页
• 分类号: TQ177
• 字数: 4634字
• 语种: 中文

摘要

本文总结了我国多晶硅锭坩埚生产现状,指出熔融石英材质坩埚仅能一次性使用,可反复使用的坩埚是发展方向,介绍了国内外可反复使用坩埚的主要生产技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李贵佳	国家知识产权局专利局材料工程发明审查部	5	14	3.0	3.0