基于两帧差分平均移相算法标定斐索型波长移相干涉仪

• 作者: 孔繁林 文刚 杨怀江 苏东奇 隋永新
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 波长移相干涉仪标定 移相算法 可调谐半导体激光器
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 210-216
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.1108004

摘要

波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关,需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布.为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪,提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法——两帧差分平均移相算法(TDA).对该算法进行模拟仿真,验证了算法的可行性和计算精度,并进一步开展了实验研究.结果表明:运用TDA算法处理定步长移相干涉图可以获得与实际值接近的计算结果;利用TDA算法标定的波长移相干涉仪的测量面形均方根(RMS)重复性优于0.07 nm(1.106λ/10000),达到了设计指标;用该干涉仪与Zygo干涉仪对相同元件进行比较测量,检测结果之差的RMS为0.742 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
2	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	62	411	11.0	18.0
3	苏东奇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	6	1.0	2.0
4	文刚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	5	1.0	2.0
5	孔繁林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	0	0.0	0.0